รายนามเจ้าอาวาส
ครูบาเถิ้ม (ขวา) เจ้าอาวาสองค์แรก,พระราชรัตนากร (ซ้าย) เจ้าอาวาสรูปที่ ๖
รายนามเจ้าอาวาสวัดพระธาตุดอยสุเทพ
2. ครูบาปัญญา จากวัดสันป่าขุย อำเภอสันกำแพง
3. พระครูอนุสรณ์ จากวัดหมื่นล้าน
4. พระปลัดคำใส จากวัดดอยสุเทพราชวรวิหาร
5. พระครูญาณลังกา จากวัดทุงยู
6. พระครูสุวรรณธรรมธาดา จากวัดเมืองมาง
7. พระเทพวรสิทธาจารย์ วัดดอยสุเทพราชวรวิหาร (รูปปัจจุบัน)
นับเป็นเวลาหกร้อยกว่าปีมาแล้วที่พระเจ้ากือนาได้ทรงสร้างวัดพระธาตุดอยสุเทพราชวรวิหาร มาเมื่อปี พ.ศ.1916 พระธาตุดอยสุเทพได้ชำรุดและซ่อมแซมมาหลายครั้งแล้ว เจ้าผู้ปกครองนครเชียงใหม่ ในราชวงศ์เม็งรายทุกพระองค์ต่างก็ให้ความสนใจและเอาใจใส่ต่อการทำนุบำรุงพระธาตุดอยสุเทพด้วยดีมาตลอดหลังจากการเปลี่ยนแปลงการปกครองจากสมบูรณาญาสิทธิราชมาเป็นระบอบประชาธิปไตย เมื่อปี พ.ศ.2475 เจ้าแก้วนวรัฐ จึงได้มอบสิทธิอำนาจต่าง ๆ ให้แก่ทางคณะสงฆ์ปกครองดูแลพระธาตุดอยสุเทพโดยตนเองในชั้นแรกได้ไปนิมนต์ครูบาเถิ้ม วัดแสนฝาง มาเป็นเจ้าอาวาสวัดพระธาตุดอยสุเทพ องค์แรกเพื่อดูแลและรักษาพระเจดีย์แทนพระองค์จากนั้นก็มีการเปลี่ยนเจ้าอาวาสมาตลอดรวม 7 รูปแล้วดังนี้
พระเทพวรสิทธาจารย์ เจ้าอาวาสรูปปัจจุบัน
หมายเหตุ
เจ้าอาวาสองค์ที่ 5 ล่าสุดได้เลื่อนสมณศักดิ์ เป็น พระเทพวิสุทธาจารย์
เจ้าอาวาสองค์ที่ 6 ล่าสุดได้เลื่อนสมณศักดิ์ เป็น พระราชรัตนากร